随着科学技术的发展，智能化转型已成为当前各行业、领域领先发展的关键，而传感器技术在智能化转型过程中承担着重要角色。那么，你了解什么是MEMS传感器吗?它的工作原理是怎样的?应用领域有哪些呢?本文将具体梳理。

1.什么是MEMS传感器

MEMS传感器全称为微机电系统(Microelectro Mechanical Systems)，该技术是在微电子技术的基础上发展而来，最早在上世纪五十年代末由诺贝尔物理奖得主Richard Pfeynman 先生提出了这一概念，三年以后，世界上第一个微型压力传感器被制造出来，自此开启了MEMS传感器的高速发展时代。

MEMS传感器是一种基于微机械加工技术、利用有向性电荷感应原理，针对空间低频电场和静电场探测的传感器。完整的MEMS传感器是由微型传感模块、微型执行模块、信号处理电路和信号控制电路、接口电路和电源等模块构成的一体化的微型系统。它的目标就是把信息的获取、处理和执行集成到一个芯片内，组成具有多功能的微型系统，集成于智能可程控的数据采集系统中，能够极大地提高该数据采集系统的智能化、稳定可靠性以及系统的可使用性。

2.MEMS传感器原理

微传感器接受动、光、热、声、磁等外界信号，并将其转化成电子系统能够识别、处理的电信号，部分MEMS器件可通过微执行器实现对外部介质的操作功能。

3.MEMS传感器分类

根据测量对象的不同，MEMS传感器可以分为物理传感器、化学传感器和生物传感器三大类，并衍生出众多细分类别。

4.MEMS传感器特点

MEMS传感器具有小型化、集成化的优点。其主要特点包括：

(1)可以极大地提高传感器性能。在信号传输前就可放大信号`从而减少干扰和传输噪声`提高信噪比在芯片上集成反馈线路和补偿线路可改善输出的线性度和频响特性`降低误差`提高灵敏度。

(2)具有阵列性。可以在一块芯片上集成敏感元件、放大电路和补偿电路。可以把多个相同的敏感元件集成在同一块芯片上。

(3)具有良好的兼容性`便于与微电子器件集成与封装。

(4)利用成熟的硅微半导体工艺加工制造`可以批量生产`成本非常低廉。

5.MEMS传感器生产模式

MEMS传感器生产制造有IDM和Fabless 两种模式，国际大厂以IDM为主。

6.MEMS传感器应用领域

当前，MEMS主要应用于汽车、工业、航空航天、消费电子、生物医疗及互联网等领域。

(1)汽车领域

主要产品包括：压力传感器、加速度计、陀螺仪、流量传感器

(2)工业领域

主要产品包括：加速度计、陀螺仪、惯性测量组合

(3)航空航天领域

主要产品包括：压力传感器、加速度计、陀螺仪、化学传感器

(4)消费电子领域

主要产品包括：加速度计、陀螺仪、硅麦克风、RF 射频模块、MEMS 显示器

(5)生物医疗领域

主要产品包括：压力传感器、生物传感器、微流体传感器、继承加速度传感器

(6)物联网领域

主要产品包括：压力传感器、温度传感器、湿度传感器

以上梳理了MEMS传感器的定义、原理及应用领域，希望对你有所帮助，如果你想了解更多相关内容，敬请关注本站的行业知识栏目。

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